产品介绍
电子级过氧化氢
超净高纯电子级过氧化氢是微电子行业中一种十分重要的高纯试剂,主要用作半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于高级绝缘层制取,电镀液无机杂质去除,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。在处理过程中,试剂中的杂质会对元器件性能产生致命影响,因此,超净高纯过氧化氢对纯度的要求非常苛刻。
序号 |
项目 |
指标 |
|||
HHP-Ⅰ |
HHP-Ⅱ |
HHP-Ⅲ |
HHP-Ⅳ |
||
1 |
含量(%) |
30-32 |
30-32 |
30-32 |
30-32 |
2 |
氯化物(Cl),ppb, ≤ |
2000 |
200 |
200 |
30 |
3 |
硝酸盐(NO3),ppb, ≤ |
- |
400 |
400 |
30 |
4 |
硫酸盐(SO4),ppb, ≤ |
5000 |
200 |
200 |
30 |
5 |
总有机碳(TOC),ppb,≤ |
20 |
20 |
20 |
- |
6 |
游离酸(以H2SO4计), ≤ |
0.6 |
0.6 |
0.6 |
- |
7 |
钠(Na),ppb,≤ |
500 |
10 |
1 |
0.1 |
8 |
钾(K),ppb,≤ |
500 |
10 |
1 |
0.1 |
9 |
锡(Sn),ppb,≤ |
500 |
10 |
1 |
0.1 |
10 |
铝(Al),ppb,≤ |
500 |
10 |
1 |
0.1 |
11 |
钛(Ti),ppb,≤ |
200 |
10 |
1 |
0.1 |
12 |
金(Au),ppb,≤ |
200 |
10 |
1 |
- |
13 |
铅(Pb),ppb,≤ |
200 |
10 |
1 |
0.1 |
14 |
钙(Ca),ppb,≤ |
200 |
10 |
1 |
0.1 |
15 |
铁(Fe),ppb,≤ |
100 |
10 |
1 |
0.1 |
16 |
镁(Mg),ppb,≤ |
100 |
10 |
1 |
0.1 |
17 |
锌(Zn),ppb,≤ |
100 |
10 |
1 |
0.1 |
18 |
硼(B),ppb,≤ |
100 |
10 |
1 |
0.1 |
19 |
铬(Cr),ppb,≤ |
50 |
10 |
1 |
0.1 |
20 |
铜(Cu),ppb,≤ |
50 |
10 |
1 |
0.1 |
21 |
锰(Mn),ppb,≤ |
50 |
10 |
1 |
0.1 |
22 |
镍(Ni),ppb,≤ |
50 |
10 |
1 |
0.1 |
23 |
镉(Cd),ppb,≤ |
- |
10 |
1 |
0.1 |
24 |
锂(Li),ppb,≤ |
- |
10 |
1 |
0.1 |
25 |
锑(Sb),ppb,≤ |
- |
5 |
1 |
0.1 |
26 |
砷(As),ppb,≤ |
- |
5 |
1 |
0.1 |
27 |
钡(Ba),ppb,≤ |
- |
10 |
- |
0.1 |
28 |
钴(Co),ppb,≤ |
- |
10 |
1 |
- |
29 |
钼(Mo),ppb,≤ |
- |
10 |
1 |
- |
30 |
银(Ag),ppb,≤ |
- |
10 |
1 |
- |
31 |
锶(Sr),ppb,≤ |
- |
10 |
1 |
- |
32 |
铌(Nb),ppb,≤ |
- |
10 |
- |
- |
33 |
镓(Ga),ppb,≤ |
- |
10 |
- |
- |
34 |
锗(Ge),ppb,≤ |
- |
10 |
- |
- |
35 |
铍(Be),ppb,≤ |
- |
10 |
- |
- |
36 |
铋(Bi),ppb,≤ |
- |
10 |
- |
- |
37 |
钽(Ta),ppb,≤ |
- |
10 |
- |
- |
38 |
铊(Tl),ppb,≤ |
- |
10 |
- |
- |
39 |
锆(Zr),ppb,≤ |
- |
10 |
- |
- |