电子级过氧化氢

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超净高纯电子级过氧化氢是微电子行业中一种十分重要的高纯试剂，主要用作半导体硅晶片清洗剂，蚀刻剂和光刻胶去除剂，还可用于高级绝缘层制取，电镀液无机杂质去除，电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理，以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。在处理过程中，试剂中的杂质会对元器件性能产生致命影响，因此，超净高纯过氧化氢对纯度的要求非常苛刻。

序号	项目	指标
序号	项目	HHP-Ⅰ	HHP-Ⅱ	HHP-Ⅲ	HHP-Ⅳ
1	含量（%）	30-32	30-32	30-32	30-32
2	氯化物（Cl），ppb， ≤	2000	200	200	30
3	硝酸盐（NO₃），ppb， ≤	-	400	400	30
4	硫酸盐（SO₄），ppb， ≤	5000	200	200	30
5	总有机碳（TOC），ppb，≤	20	20	20	-
6	游离酸（以H₂SO₄计）， ≤	0.6	0.6	0.6	-
7	钠（Na），ppb，≤	500	10	1	0.1
8	钾（K），ppb，≤	500	10	1	0.1
9	锡（Sn），ppb，≤	500	10	1	0.1
10	铝（Al），ppb，≤	500	10	1	0.1
11	钛（Ti），ppb，≤	200	10	1	0.1
12	金（Au），ppb，≤	200	10	1	-
13	铅（Pb），ppb，≤	200	10	1	0.1
14	钙（Ca），ppb，≤	200	10	1	0.1
15	铁（Fe），ppb，≤	100	10	1	0.1
16	镁（Mg），ppb，≤	100	10	1	0.1
17	锌（Zn），ppb，≤	100	10	1	0.1
18	硼（B），ppb，≤	100	10	1	0.1
19	铬（Cr），ppb，≤	50	10	1	0.1
20	铜（Cu），ppb，≤	50	10	1	0.1
21	锰（Mn），ppb，≤	50	10	1	0.1
22	镍（Ni），ppb，≤	50	10	1	0.1
23	镉（Cd），ppb，≤	-	10	1	0.1
24	锂（Li），ppb，≤	-	10	1	0.1
25	锑（Sb），ppb，≤	-	5	1	0.1
26	砷（As），ppb，≤	-	5	1	0.1
27	钡（Ba），ppb，≤	-	10	-	0.1
28	钴（Co），ppb，≤	-	10	1	-
29	钼（Mo），ppb，≤	-	10	1	-
30	银（Ag），ppb，≤	-	10	1	-
31	锶（Sr），ppb，≤	-	10	1	-
32	铌（Nb），ppb，≤	-	10	-	-
33	镓（Ga），ppb，≤	-	10	-	-
34	锗（Ge），ppb，≤	-	10	-	-
35	铍（Be），ppb，≤	-	10	-	-
36	铋（Bi），ppb，≤	-	10	-	-
37	钽（Ta），ppb，≤	-	10	-	-
38	铊（Tl），ppb，≤	-	10	-	-
39	锆（Zr），ppb，≤	-	10	-	-

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